「測定機能付微細塗布装置」の提案を開始｜新商品ニュース：2016年｜商品・技術情報

塗布後の形状測定機能を付加することで全数検査による塗布工程や品質の管理を実現

NTN株式会社(以下、NTN)は、針の先端に付着させた数pl(ピコリットル)^*1の微細な液滴を、1回あたり0.1秒で高精度に塗布できる「卓上型高速微細塗布装置^*2」に、塗布後の塗布形状を三次元測定する「微細三次元形状測定」機能を付加した「測定機能付微細塗布装置」(以下、開発品)の提案を開始しました。

2015年に開発した卓上型高速微細塗布装置の販売を推進する中、ますます微小化する電子部品(以下、チップ部品)の実装分野では、塗布した接着剤の形状や塗布量を全数測定することで品質管理に活用したいニーズがあることが分かりました。これまで塗布と測定には個別の装置が必要でしたが、開発品は、0.7秒^*3の短時間で塗布から測定まで対応可能であり、生産効率の向上に貢献します。

現在、チップ部品実装やMEMS^*4センサの量産ライン向けの適用検討が進んでいます。材料を塗布した直後に塗布材料の三次元形状を測定し、塗布面積や塗布材料体積を算出することで、品質管理が可能です。また、塗布処理毎の測定結果による傾向管理から塗布量の調整をする機能の追加も可能です。

pl(ピコリットル):1兆分の1リットル
2015年プレスリリース
https://www.ntn.co.jp/japan/news/new_products/news201500035.html
針の先端に付着させた数plの微細な液滴を、1回あたり0.1秒で高精度に塗布できる「卓上型高速微細塗布装置」を開発しました。
塗布0.1秒＋測定0.6秒 (高さ20µm以内の測定範囲、ステージ移動時間は除く)
「Micro Electro Mechanical Systems(微小電気機械システム)」の略称で、半導体のシリコンやガラス基板・有機材料などに、機械要素部品や電子回路などを形成した微小構造デバイス

特長

(1) 高速微細塗布直後に形状測定、検査	高生産性の塗布および品質管理
(2) 塗布形状・面積や塗布量の体積を計測	塗布材料の経時変化監視や乾燥性などの特性評価
(3) 量産ラインへの導入が容易	コンパクト設計(設置面積は約300mm四方) パソコン画面上のマウス操作により簡単に微細塗布や形状測定の条件設定が可能

対象用途

チップ部品の実装、パッケージング	接着剤や導電性ペーストの塗布量管理、検査
バイオ・新薬開発	試薬等の微少スポッティング液量の管理
高密度配線(プリント基板)	導電性ペースト塗布による電極接続状態の測定
マイクロマシン・ロボットの組立	接着剤の塗布量管理、検査
液体材料の開発	導電性ペースト、ナノペースト等の特性評価

お問い合わせ先

産業機械事業本部事業戦略部　

商品写真

塗布および形状測定例

カラーインクの塗布 → 形状測定 → データ出力例

(1)塗布		(2)形状測定

インク粘度:約0.07Pa・s、塗布径:約φ119 µm 視野範囲:640 µm×480 µmの例		測定時間:0.6秒、高さ測定範囲:最大20 µm

(3)データ表示例

2016年