2010年

軽量、高剛性、低コストを実現した大型精密位置決め駆動ユニット

NTN株式会社（以下、NTN）は、『高性能大型XYガントリテーブル』を開発しました。本開発品は太陽電池パネル製造をはじめ、フラットパネル製造・検査など、大型ワーク用途対応のガントリー型精密位置決めXYテーブルであり、軽量、高剛性、低コストを実現しました。

パネルメーカでは、生産性向上のため液晶ガラス基板などワークの大型化が進んでいますが、それにともない製造・検査装置のサイズ・重量も増加します。また、各装置における処理のスループット^※1増大に向け、装置の性能面においてさらなる高精度、高速度にという市場ニーズが高まっており、軽量かつ高剛性、高精度な要素部品での構成が必要不可欠となっています。NTNでは、長ストロークの移動慣性となる上軸用ビームに薄肉の角形鋼管を採用し、さらに構造解析により設計の最適化を図ることで、軽量と高剛性を両立させました。

今回開発した高性能大型ガントリテーブルでは、従来ビームとの質量比60%、剛性比120%を達成しました。これにより、高速移動後の急減速停止時における整定時間の短縮や、リニアモータの省出力化や小型化につなげることができます。また、角形鋼管は、CFRP材^※2など特殊な高性能材料と比較し、入手性、加工性に優れていることから、低価格で柔軟な生産対応と精度確保が可能です。

NTNでは、今回開発したビームに加え、下軸用ベース、駆動系にも最適設計を展開しており、コストパフォーマンスに優れた大型精密位置決め駆動ユニットを提供します。

※1 スループット：工場や機械などが一定時間に処理できる作業量

※2 CFRP：炭素繊維強化プラスチック（Carbon-Fiber Reinforced Plastic）

特長　大型ガラス基板等の製造装置・検査装置に対応した機能・性能を実現

○ 軽量	従来比 60%（上軸ビーム部分）
○ 高剛性	従来比 120%（上軸ビーム部分）
○ 低コスト	従来比 80%（XYテーブル総コスト）
○ テーブル移動速度	従来比 120%（最大速度：2,000mm/s）

お問い合わせ先

精機商品事業部 セールスエンジニアリング部
（東京）06-6449-6716（大阪）

上軸製缶ビームと特長

製缶ビーム部外観

特長

(1) 軽量	質量比 60%
(2) 高剛性	剛性比 120%
(3) 低コスト	装置総コスト 従来比 80% ⇒ 装置性能： i) 高速移動，急停止時の整定時間短縮（高速・高精度化） ii) 駆動用モータのサイズダウン（省出力化）